硅粉（Microsilica 或 Silica Fume），也叫微硅粉，又叫硅灰，是工業電爐在高溫熔煉工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。是工業電爐在高溫熔煉工業硅及硅鐵的過程中，隨廢氣逸出的煙塵經特殊的捕集裝置收集處理而成。在逸出的煙塵中，SiO2含量約占煙塵總量的 90%，顆粒度非常小，平均粒度幾乎是納米級別，故稱為硅粉。為了檢測硅粉中的重金屬含量，可采用微波消解的方法對其進行前處理，本方法消解迅速，酸用量少，酸霧污染小，有利于 AAS、ICP 等對痕量重金屬元素的準確快速測定。